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濟(jì)南半導(dǎo)體廠凈化車間廢氣方法-冷凝吸收+光解除臭

發(fā)布日期：2020-09-15瀏覽次數(shù)：19527
　　濟(jì)南半導(dǎo)體廠凈化車間廢氣方法-冷凝吸收+光解除臭

　　在濟(jì)南某半導(dǎo)體廠已采用冷凝吸收器進(jìn)行去光阻工序排氣前的預(yù)處理凈化并回收，回收效率約在90%以上，但是還會有少量的有機(jī)惡臭污染物，礙于既有處理等級限制，無法將所有問題一并解決，該怎么辦呢？

　　該廠在找多家環(huán)保設(shè)備廠家聯(lián)系的時候，找到了我們，我們根據(jù)其實(shí)際情況采用了建議采用uv光解除臭設(shè)備，其系利用高能高臭氧UV紫外線光束照射，裂解惡臭氣體，以去除及凈化臭味物質(zhì)。該設(shè)備購置運(yùn)行成本低，適應(yīng)性強(qiáng)，效率高，尤其適用于半導(dǎo)體廠、塑料廠、煉油廠、橡膠廠、化工廠、制藥廠、污水處理廠、垃圾轉(zhuǎn)運(yùn)站等排放臭味氣體的處理，可以解決吸附技術(shù)無法解決的臭味問題。


因所處理的廢水含高科技業(yè)去光阻機(jī)臺的DMSO廢水，因此于廢水處理過程DMSO還原而產(chǎn)生DMS等還原性臭味，以DMS而言，其嗅覺閾值很低(<0.011-0.063ppmv)，大氣中只要含微量(低濃度)，就會產(chǎn)生明顯的惡臭氣味，若以現(xiàn)有冷凝吸收設(shè)備，無法**解決所衍生的臭味問題，車間無法**解決廢水廠有機(jī)廢氣臭味的問題。
對于半導(dǎo)體廠家而言，在去光阻工序中常會使用的去光阻液，雖絕有些工廠車間目前都已采用冷凝吸收器進(jìn)行去光阻工序排氣前的預(yù)處理凈化并回收，回收效率約在90%以上，但對于其所衍生的低濃度(<5ppm)有機(jī)惡臭污染物，礙于既有處理等級限制，無法將所有問題一并解決，也長期造成從業(yè)者許多困擾，這些含硫化合物氣體不但是造成高科技業(yè)或相關(guān)園區(qū)廢水廠空氣污染臭味投訴的主因，同時也是使被污染的空氣導(dǎo)引進(jìn)入如半導(dǎo)體晶圓制造廠及TFT-LCD。
 
設(shè)備配置：噴淋+光解，光解：THY-EQ30000廢氣UV高效光解凈化設(shè)備； 處理標(biāo)準(zhǔn)：惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-1993)排放標(biāo)準(zhǔn)；

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